|
عنوان
|
نانو نقش های دوره ای با استفاده از لیتوگرافی تداخل لیزری دو باریکه ای: شبیه سازی و ساخت
|
|
نوع پژوهش
|
پایان نامه
|
|
کلیدواژه‌ها
|
نانوساختار، لیتو گرافی، آینه ی لوید، ماده حساس نوری، لیزر، تداخل نوری
|
|
چکیده
|
تغییر و تعدیل شدت ناشی از دو یا چند باریکه ی نور را تداخل می گویند. به عبارتی تداخل نوری را می توان برهم کنش دو یا چند باریکه دانست که دامنه و شدت برآیند، از مجموع دامنه ها و شدت های جداگانه ی هریک از این دو باریکه متفاوت است. پژوهش حاضر به بررسی نانو ساختار ها روی سطوح جامد می پردازد. ما در این پروژه به کمک روش لیتو-گرافی تداخل لیزری توانستیم نانو ساختار های متنوع را در مساحت های بزرگ تولید کنیم. در لیتو گرافی تداخل لیزری دو یا چند باریکه بر روی زیر لایه ای جامد که با ماده ای حساس به نور پوشانده شده است، تداخل می کنند. لیتو گرافی تداخل لیزری به روش های مختلفی انجام می-شود. در میان این روش های مختلف از آینه ی لوید بیشترین استفاده شده است. در این روش آینه و نمونه به صورت عمود بر هم قرار دارند که تحت تابش نور با طول موج خاصی قرار می گیرند،پرتو بازتابیده از سطح آیینه با پرتو فرودی روی نمونه تداخل می کنند و نواحیی نواری شکل با شدت کم و زیاد روی نمونه ایجاد می شوند. بادوران نمونه حول محور عمود بر آن و تابش مجدد لیزر بر نمونه طرحی دیگر ایجاد می شود. با افزایش تعداد تداخل ها تعداد طرح ها یی زیادی را می توان بدست آورد. در نهایت اگر تعداد پرتودهی ها افزایش پیدا کند در قسمت مرکزی طرح ها، حلقه ها یی مشاهده خواهیم کرد که تعداد آن ها با افزایش تعداد پرتودهی ها افزایش می یابد. ما دراین رساله قصد داریم با استفاده از اصل برهم نهی معادلات لازم برای تداخل دو پرتو را بدست آوریم سپس با استفاده از ماتریس دوران و اصل برهم نهی شکل طرح ها ی چند پرتودهی را پیش بینی می کنیم در نهایت به کمک برنامه ی کامپیوتری مجموعه ای از طرح ها یی با زاویه ی چرخش مختلف را شبیه سازی و دسته بندی می کنیم. همچنین در آزمایشگاه با طراحی مجموعه تجربی که تشکیل شده است از لیزر، لیزر شاتر، لنز، پین هول، نگهدارنده ی آینه و نمونه می توانیم با انجام مراحل مختلف آزمایش نانو ساختار ها یی را ایجاد کنیم که با افزایش تعداد پرتودهی ها طرح ها یی متقارن و زیبا به وجود می آیند. در این بررسی موج فرودی روی آینه و نمونه را تخت در نظر می گیریم.
|
|
پژوهشگران
|
عبدالله حسن زاده (استاد راهنما)، فرزانه عباسی (دانشجو)
|