تداخل، برهم کنش بین دو یا چند موج است که شدت موج برآیند حاصل از این برهم کنش، از شدت هر کدام از امواج شرکت کننده در تداخل متفاوت می باشد. به طور کلی، هر زمان که دو موج بر هم نهاده شوند، توزیع شدتی می یابند که این توزیع شدت به عنوان الگوی تداخل شناخته می شود. این امواج می توانند امواج روی سطح آب یا امواج صوتی و هم امواج نوری باشند به شرطی که امواج با هم اختلاف فاز ثابتی داشته باشند. به طور کلی در این پایان نامه، به ساخت و بررسی نانوساختارها روی سطوح جامد می-پردازیم. در این پژوهش به کمک لیتوگرافی تداخل لیزری نانوساختارهای متنوعی را که با برنامه نویسی متلب از قبل شبیه سازی شده است، ساخته می شوند. در این لیتوگرافی تداخل لیزری (LIL) که در آن دو یا چند پرتوی همدوس لیزر، بر روی یک بستر پوشیده از ماده ی حساس به نور (فوتورزیست) با هم تداخل می کنند. این تکنیک لیتوگرافی به الگوی نوشتن بر روی فیلم های فوتورزیستی بر پایه ی تداخلات سازنده و ویرانگر استوار است. لیتوگرافی تداخل لیزری یک روش سریع، ارزان و بدون ماسک است که می تواند برای ساخت نانوساختارهای بدون نقص دوره ای با انعطاف پذیری بالا در مساحت های بزرگ مورد استفاده قرار گیرد. آرایش های مختلفی برای لیتوگرافی تداخل لیزری وجود دارد. با این حال، پیکربندی مورد استفاده در این پژوهش، آرایش آینه لوید است. در این لیتوگرافی تداخل لیزری از یک لیزر با طول موج خاصی استفاده می کنیم که بخشی از این نور مستقیم به نمونه برخورد کرده و بخش دیگر آن تحت زاویه ای به آینه می-تابد، حال باریکه ای از نور که به آینه تابیده، از سطح آن بازتاب می یابد و با باریکه ی دیگری که به نمونه برخورد کرده تداخل می کند و همین تداخل باعث به وجود آمدن ناحیه هایی با شدت کم و زیاد می گردد که همان نقشه ای تداخلی هستند. سپس این طرح های ساخته شده در آزمایشگاه را با آن چه در برنامه نویسی متلب شبیه سازی کرده ایم، مقایسه می کنیم.
